成果轉(zhuǎn)化
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集成電路三維X射線檢測儀
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發(fā)布時間: 2023-01-05
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       X射線三維層析成像儀(MXCL-300)作為技術(shù)成果轉(zhuǎn)化的重要儀器設(shè)備之一,極大解決了半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)中大尺寸板狀物的檢測問題,集自由度高、放大比可調(diào)、大視野、高分辨、快速重建等優(yōu)點于一身,在貼片電阻、晶圓級封裝缺陷、球柵陣列封裝(BGA)缺陷、方型扁平式封裝(QFP)缺陷、絕緣柵雙極型晶體管(IGBT)焊層缺陷檢測、插件焊接質(zhì)量等電路板、芯片、板狀化石等領(lǐng)域發(fā)揮了極為重要的作用。


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